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Mitutoyo三丰 M Plan Apo / M Plan Apo HR 明视场用物镜

高分辨率镜头 半导体量测 先进封装测试 3C检测 显示面板检测 PCB线路板检测 工业高倍显微物镜

Mitutoyo三丰 M Plan Apo 与 M Plan Apo HR 系列物镜,均为明视场专用高性能光学物镜,采用平场复消色差(Plan Apochromat)设计,适配工业显微镜、精密测量设备,广泛应用于半导体检测、电子元器件观测、精密量测等场景。其中M Plan Apo 系列侧重高性价比与长工作距离,M Plan Apo HR 系列主打高分辨率升级,满足更精细的观测与量测需求,核心参数与细节如下。

高分辨率镜头 半导体量测 先进封装测试 3C检测 显示面板检测 PCB线路板检测 工业高倍显微物镜

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Mitutoyo三丰 M Plan Apo / M Plan Apo HR 明视场用物镜


一、核心通用特性

1.光学设计:均采用平场复消色差(Plan Apochromat)光学系统,全面校正球差、色差,确保整个视场范围内成像平整、清晰,无边缘畸变,贴合精密量测的准确性要求。
2.观测方式:专属明视场观测,适配可见光波段(校正波长436-656nm,设计基准波长587nm),可高效捕捉样品表面细节,适配各类明视场显微镜系统(如VMU、FS 70、MF-U系列)。
3.光学校正:无限远校正设计,便于搭配各类显微镜镜筒与成像组件,灵活适配不同观测与量测场景,提升系统兼容性。
4.通用参数:齐焦距离(P.D.)均为95mm,适配三丰标准显微镜接口,可直接替换使用;均支持空气介质观测,无需额外适配浸油等辅助介质,操作便捷。
5.质量与防护:金属外壳封装,结构坚固,适配工业严苛环境;部分型号可搭配保护玻璃件,防止物镜受损,延长使用寿命。

二、分系列详细规格(含型号、核心参数)

(一)M Plan Apo 系列(标准型明视场物镜)

该系列涵盖1×至100×全倍率,侧重长工作距离与高兼容性,满足常规精密观测与量测需求,具体规格如下表所示:
物镜型号(产品编码)
放大倍率
数值孔径(NA)
工作距离(WD, mm)
焦距(f, mm)
分辨率(R, μm)
焦点深度(μm)
质量(g)
M Plan Apo 1×(378-800-12)
0.025
11.0
200
11.0
440
300
M Plan Apo 2×(378-801-12)
0.055
34.0
100
5.0
91
220
M Plan Apo 5×(378-802-12)
0.14
36.5
40
2.0
14
262
M Plan Apo 7.5×(378-807-3)
7.5×
0.21
35.0
26.67
1.3
6.2
270
M Plan Apo 10×(378-803-3)
10×
0.28
33.5
20
1.0
3.6
290
M Plan Apo 20×(378-804-3)
20×
0.42
20.0
10
0.7
1.4
320
M Plan Apo 50×(378-805-3)
50×
0.55
13.0
4
0.5
0.7
370
M Plan Apo 100×(378-806-3)
100×
0.70
6.0
2
0.4
0.6
420

(二)M Plan Apo HR 系列(高分辨率明视场物镜)

该系列为高分辨率升级款,数值孔径更高,成像精度优于标准款,涵盖5×至100×倍率,适配半导体精细检测、微小元器件量测等高端场景,具体规格如下表所示:
物镜型号(产品编码)
放大倍率
数值孔径(NA)
工作距离(WD, mm)
焦距(f, mm)
分辨率(R, μm)
焦点深度(μm)
质量(g)
M Plan Apo HR 5×(378-787-16)
0.21
27.0
40
1.3
6.2
285
M Plan Apo HR 10×(378-788-15)
10×
0.42
17.0
20
0.7
1.4
455
M Plan Apo HR 50×(378-814-4)
50×
0.75
4.5
4
0.4
0.3
460
M Plan Apo HR 100×(378-815-4)
100×
0.90
1.3
2
0.3
0.2
410

三、关键补充说明

1.分辨率与焦点深度:所有型号的分辨率、焦点深度均以基准波长λ=0.55μm为计算依据,为物镜单体安装时的标准参数,实际数值可能因适配的显微镜型号不同而略有差异。
2.视场范围:以φ24mm目镜搭配为例,各倍率实际视场随放大倍率增大而减小;搭配1/2英寸相机时,视场范围对应缩小(具体可参考对应型号技术参数)。
3.特殊使用要求:单独使用该系列物镜进行垂直落射照明时,需确保入射照明光束不小于16.8mm(物镜瞳孔直径),该场景可接受定制订单。
4.低反射样品适配:1×、2×倍率物镜观测低反射样品时,建议搭配对应偏振器模块或1/4波片(如型号02ALN370),避免镜头反射影响观测效果,其中2×倍率搭配后工作距离会缩短4mm。
5.数据下载:各型号的CAD数据、透过特性及像侧焦点位置数据可在三丰官方网站免费下载,便于设备集成与安装调试。

四、适配场景与应用

1.M Plan Apo 系列:适用于电子元器件、机械零件、PCB板等常规明视场观测与量测,长工作距离设计便于观测体积较大或不易靠近的样品,性价比突出。
2.M Plan Apo HR 系列:适用于半导体晶圆缺陷检测、微小芯片封装观测、精密光学元件量测等高端场景,高分辨率特性可清晰捕捉微小划痕、颗粒等细节,满足严苛检测需求。


Mitutoyo三丰 M Plan Apo / M Plan Apo HR 明视场用物镜
Mitutoyo三丰 M Plan Apo 与 M Plan Apo HR 系列物镜,均为明视场专用高性能光学物镜,采用平场复消色差(Plan Apochromat)设计,适配工业显微镜、精密测量设备,广泛应用于半导体检测、电子元器件观测、精密量测等场景。其中M Plan Apo 系列侧重高性价比与长工作距离,M Plan Apo HR 系列主打高分辨率升级,满足更精细的观测与量测需求,核心参数与细节如下。
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