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Mitutoyo三丰 工业显微物镜系列

工业高倍显微物镜

日本三丰(Mitutoyo) 是全球精密测量与工业光学领域的标杆品牌,其工业显微物镜凭借超长工作距离、超高分辨率、平场复消色差、宽光谱适配等核心优势,成为半导体、面板、3C、精密测量、AOI 外观检测的行业标准配置,广泛配套于图像测量仪、检测设备、显微观测系统中。

产品专为工业高精度视觉检测、精密测量、显微观测设计,覆盖明场、暗场、同轴、偏振、红外、紫外等全场景,提供从1×~100×完整倍率体系,是高端工业视觉与精密量测领域的优选光学物镜。

工业高倍显微物镜

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三丰 Mitutoyo 工业显微物镜

以下为三丰最常用、工业视觉最主流的物镜系列规格,按系列整理,可直接用于选型、方案、BOM。

一、通用标准

  • 光学设计:无限远校正 Infinity Corrected
  • 齐焦距离:95mm(标准工业)
  • 管镜焦距:200mm
  • 接口螺纹:M26×0.706 / M26×36TPI(通用标准)
  • 适用:明场、暗场、同轴、测量、AOI、半导体、晶圆、面板

二、核心系列规格

1)M Plan Apo 标准平场复消色差(VIS 可见光)

工业视觉最通用、精度最高


倍率NA      工作距离 WD (mm)分辨率 (μm)     适用
0.14         36.52.0通用检测
10×0.28         20.01.0高精度测量
20×0.42               10.00.5晶圆 / 芯片
50×0.55         13.00.48微细缺陷
100×0.70           6.00.24纳米级观测
货号示例:378-805-3(50×)、378-806-3(100×)

2)M Plan Apo SL 超长工作距离(Super Long WD)

适合有高度差、台阶、深孔工件


倍率NA          WD(mm)     特点
0.14           40.0超长 WD
10×0.21           30.5超长 WD
20×0.28           30.5工业优选
货号示例:378-840-7(20× SL)

3)BD Plan Apo 亮 / 暗场通用(明暗场一体)

适合划痕、脏污、玻璃、透明体检测


倍率NA      WD(mm)
0.055       34.0
0.14       36.5
10×0.28       20.0
20×0.42       10.0
50×0.55       13.0
货号示例:378-831-7(2×)

4)G Plan Apo 透过玻璃观测(Glass Correction)

专门用于透过 3.5mm 厚玻璃观测内部


倍率NA    WD(mm)      适用
20×0.28       29.4玻璃下测量
50×0.42        12.0玻璃下缺陷
货号示例:378-847(20×)

5)M Plan Apo NIR 近红外物镜(700–1800nm)

硅片、红外检测、激光加工用

倍率NAWD(mm)波段
10×0.2820.0450–1800nm
20×0.4517.4780nm 高透
50×0.5513.0NIR 全覆盖

6)ML 系列 测量物镜(有限远、测量显微镜专用)

用于三丰测量显微镜,物像距 280mm

倍率NA      WD(mm)
0.13      61.0
10×0.21      51.0
20×0.42      20.0
50×0.65        8.0
货号示例:375-034-1(5×)

三、关键参数说明

  • NA(数值孔径):越大分辨率越高、亮度越高
  • WD(工作距离):越大越安全,不易撞镜头
  • 分辨率 R:最小可分辨尺寸(λ/2NA)
  • 齐焦 95mm:换倍率不用重新对焦
  • 无限远设计:可加滤光片、偏振片、分光镜

四、选型速判

  • 通用高精度 → M Plan Apo 10×/20×
  • 高反光 / 透明 / 划痕 → BD Plan Apo
  • 深孔 / 台阶 / 高度差 → M Plan Apo SL
  • 透过玻璃观测 → G Plan Apo
  • 硅片 / 红外检测 → M Plan Apo NIR
  • 三丰测量显微镜 → ML 系列


Mitutoyo三丰 工业显微物镜系列
日本三丰(Mitutoyo) 是全球精密测量与工业光学领域的标杆品牌,其工业显微物镜凭借超长工作距离、超高分辨率、平场复消色差、宽光谱适配等核心优势,成为半导体、面板、3C、精密测量、AOI 外观检测的行业标准配置,广泛配套于图像测量仪、检测设备、显微观测系统中。

产品专为工业高精度视觉检测、精密测量、显微观测设计,覆盖明场、暗场、同轴、偏振、红外、紫外等全场景,提供从1×~100×完整倍率体系,是高端工业视觉与精密量测领域的优选光学物镜。
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